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X선 소스에서 전자빔을 정렬하고 집속하는 방법

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기관명	NDSL
출원인	엑실룸 에이비
출원번호	10-2013-7014758
출원일자	2013-06-07
공개번호	20131213
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명은, 정렬수단, 집속수단 및 편향수단을 포함한 전자 광학 시스템에서 빔의 정렬량을 간접적으로 측정하기 위한 기술에 관한 것이다.이러한 측정을 수행하기 위해, 단순한 센서가 이용될 수 있는데, 잘 정의된 공간적 범위가 있다면, 단일 소자 센서도 이용될 수 있다.또한, X선 타겟을 생성하도록 작동가능한 X선 소스와 관련되어 수행될 때, 본 발명은 타겟과의 교차지점에서 전자빔의 폭을 결정하고 제어하는 기술을 제안한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020137014758
첨부파일