| 초록 |
본 발명은 반도체 제조라인에서 설비의 특정부품에 대한 고장이 발생할 경우 교체하기 위한 부품을 PDA를 이용하여 바코드를 읽어들여 신청접수하고 관리하는 반도체 제조설비의 순환품 관리시스템에 관한 것이다. 반도체 공정설비에서는 공정을 진행하는 도중에 고장이 발생되면 고장난 부품에 설치된 위치로 이동하여 PDA를 통해 고장난 바코드를 읽어들여 작업의뢰를 즉시 신청하여 생산성을 향상시키기 위한 본 발명의 반도체 제조설비의 순환품 관리시스템은, 부품에 부착된 바코드를 리드하기 위한 바코드리더기가 구비되어 고장이 발생한 부품을 신청할 수 있도록 하는 PDA와, 상기 PDA와 무선으로 인터넷망이 연결되도록 하고 상기 PDA로부터 송출되는 부품정보에 대한 데이터를 수신하여 인터넷망을 통해 설비보전관리서버로 전송하고 상기 설비보전 관리서버로부터 수신된 정보를 상기 PDA로 전송하는 모바일 어플리케이션서버와, 상기 인터넷망에 연결되어 통합부품에 대한 재고관리 및 작업의뢰신청정보를 접수할 수 있도록 제어하는 동시에 통합부품에 대한 재고관리 및 작업의뢰신청정보를 저장하도록 제어하는 설비보전 관리서버를 포함한다. 공정을 진행하는 도중에 고장이 발생되면 공정설비 및 공급설비의 고장난 부위를 확인하고 그 고장난 부품에 설치된 지하로 이동하여 시리얼번호를 종이에 기록한 후 다시 지하에서 단말기가 설치된 FAB까지 이동하지 않고 현장에 바로 PDA를 통해 고장난 부품에 부착된 바코드를 읽어들여 작업의뢰신청하므로, 작업의뢰를 신 청하기위해 불필요한 시간을 낭비하지 않고 신속하고 편리하게 처리할 수 있다. |
