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칼슘 플루오라이드 응력판 및 그 제조 방법

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기관명	NDSL
출원인	에이에스엠엘 유에스, 인크.
출원번호	10-2002-7008159
출원일자	2002-06-22
공개번호	20080509
공개일자	2007-06-04
등록번호	10-0723561-0000
등록일자	2007-05-23
권리구분	KPTN
초록	칼슘 플루오라이드(CaF 2 ) 응력판은 소정량의 광학 지연을 제공한다. CaF 2 응력판은 CaF 2 입방면에 놓이는 표면을 갖고, 투과축을 따라 일 세트의 입방면에 입사되는 광학 파동 전면을 지연시킨다. 소정의 지연을 수행하기 위해서, CaF 2 응력판은 광학 파동 전면의 제1 영역 구성 부품에 의해 보여지는 제1 굴절률과, 광학 파동 전면의 제2 영역 구성 부품에 의해 보여지는 제2 굴절률을 갖는다. 응력판의 광학 지연은 두 개의 굴절률 사이의 차이에 비례한다. 본 발명의 실시예는 CaF 2 재료 샘플로 CaF 2 응력판을 제조하는 방법을 포함한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1020027008159
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