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기판 결함 검출 장치

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기관명	NDSL
출원인	엘아이지에이디피 주식회사
출원번호	10-2005-0131728
출원일자	2005-12-28
공개번호	20080509
공개일자	2010-06-24
등록번호	10-0965418-0000
등록일자	2010-06-15
권리구분	KPTN
초록	본 발명은 표면 결함 검출 장치에 관한 것으로, 그 구성은 기판 결함 검사장치의 조명부에 있어서, 상기 조명부는 적어도 하나 이상의 발광체로 이루어지고, 상기 조명부에는 상기 조명부로부터 조사되는 빛의 파동 방향을 제어하도록 적어도 하나 이상의 광학소재로 이루어진 광학소재부를 포함하여 이루어진다. 본 발명은 촬상부와 조명부 사이에 피검사체(기판)을 놓고, 촬상부와 조명부에 위치한 편광판를 별도의 구동수단을 이용해 편광각도를 회전시킴과 동시에 위상각을 변화하여 표면에 있는 결함을 자동으로 검출할 수 있게 하는 효과가 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1020050131728
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