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전자 장치의 열 처리

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기관명	NDSL
출원인	카티바, 인크.
출원번호	10-2016-7019863
출원일자	2016-07-20
공개번호	20160901
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	유기 발광 다이오드(OLED) 장치를 포함할 수 있는 전자 장치를 제조하는데 사용되기 위한 장비 및 기술이 본 명세서에 기술된다. 이러한 장비 및 기술은 제어된 환경을 가진 하나 이상의 모듈을 사용하는 것을 포함할 수 있다. 예를 들어, 기판은 제1 프로세싱 환경 내에 위치된 프린팅 시스템으로부터 수용될 수 있고, 기판에 제어된 제2 프로세싱 환경을 포함하는 밀봉된 열처리 모듈로 제2 프로세싱 환경이 제공될 수 있다. 제2 프로세싱 환경은 제1 프로세싱 환경과 상이한 조성을 가진 정화된 가스 환경을 포함할 수 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167019863
첨부파일