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회절 광학계 시스템 및 이를 이용한 레이저 가공 방법

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기관명	NDSL
출원인	주식회사 코윈디에스티
출원번호	10-2015-0134320
출원일자	2015-09-23
공개번호	20160107
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명은 회절 광학계 시스템 및 이를 이용한 레이저 가공 방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 회절 광학계 시스템은 레이저 빔을 조사하는 레이저 광원; 상기 레이저 광원으로부터의 레이저 빔을 전달하는 제1 광학계; 상기 광학계로부터 상기 레이저 빔의 가공 크기, 형상 및 분포 중에서 적어도 어느 하나를 제어하는 회절 광학 소자; 및 상기 회절 광학 소자에서 제어된 상기 레이저 빔을 조사하여 가공 부재를 가공하는 제2 광학계;를 포함한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020150134320
첨부파일