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감활성광선성 또는 감방사선성 수지 조성물, 그 조성물을 이용한 레지스트막 및 패턴 형성 방법, 전자 디바이스의 제조 방법 및 전자 디바이스

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기관명	NDSL
출원인	후지필름 가부시키가이샤
출원번호	10-2015-7015509
출원일자	2015-06-11
공개번호	20150717
공개일자	2016-07-01
등록번호	10-1635494-0000
등록일자	2016-06-27
권리구분	KPTN
초록	감활성광선성 또는 감방사선성 수지 조성물은, 트라이페닐설포늄노나플레이트를 기준으로 한 경우의, 상대 흡광도를 ε r 로 하고, 상대 양자효율을 φ r 로 할 때, 상대 흡광도 ε r 이 0.4~0.8이면서, 또한, ε r ×φ r 이 0.5~1.0인 활성광선 또는 방사선의 조사에 의하여 산을 발생하는 화합물(A)을 함유한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1020157015509
첨부파일