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푸리에 변환 근적외선 분광학을 이용한 감광성 수지 공중합체의 조성 분석방법

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기관명	NDSL
출원인	송원산업 주식회사
출원번호	10-2008-0132275
출원일자	2008-12-23
공개번호	20100705
공개일자	2011-03-25
등록번호	10-1023429-0000
등록일자	2011-03-11
권리구분	KPTN
초록	본 발명은 푸리에 변환 근적외선 분광학(Fourier Transform Near-Infrared Spectroscopy, FT-NIR)을 이용한 감광성 수지 공중합체의 조성 분석방법에 관한 것으로서, 2종 이상의 모노머를 여러 가지 비율로 혼합하여 얻은 혼합물로부터 푸리에 변환 근적외선 분광학(FT-NIR) 분석을 통하여 상기 모노머 각각에 대한 검량선을 작성한 후, 상기 2종 이상의 모노머로 이루어진 분석하고자 하는 감광성 수지 공중합체를 FT-NIR 분석하여 얻어진 값을 상기 검량선에 대입하여 공중합체의 조성을 산출해 내는 것을 특징으로 하며, 이러한 본 발명의 분석방법에 의하면, 다양한 모노머가 혼합되어 이루어진 포토레지스트용 감광성 수지 공중합체에서 모노머의 조성을 보다 편리하고 재현성 있게 분석할 수 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1020080132275
첨부파일