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점성 유체의 표면장력을 이용한 원형단면 미세관 제작기법

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기관명	NDSL
출원인	주식회사 에스티앤아이
출원번호	10-2005-0016342
출원일자	2005-02-28
공개번호	20080509
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	마이크로머시닝 기술은 반도체, 마이크로 구조물, 마이크로 엑츄에이터, 마이크로 센서 등을 제작할 수 있으며 그 활용도는 디스플레이, 전자 소자, 바이오 관련 등의 분야에서 많이 활용되고 있다. 특히 바이오 관련 기기에서의 응용 가치성이 보다 커짐에 따라 미세유체역학(MICROFLUDICS), LOC(LAB ON A CHIP), DDS(DRUG DELIVERY SYSTEM)에서 미세관은 유체를 비롯하여 각종 생체 물질들의 이동 및 반응 등에 이용되고 있다. 하지만 미세관의 단면은 일반적으로 사각형 및 홈(GROOVE)의 형태로만 공정이 가능하여 유체유동에 많은 제약을 주며 모든 공정들은 화학 약품을 사용하기 때문에 유체의 오염을 완벽하게 막을 수 없고 별도의 접합공정을 해야 하는 단점이 있다. 이런 단점을 점성유체의 표면장력과 증착 두께를 조절하여 종래기술의 문제점인 곡면 단면을 가진 미세관의 제작을 화학적 오염 없이 보다 손쉽고 빠르게 제작하였다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020050016342
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