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금속 나노 점을 포함하는 갭 소자

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기관명	NDSL
출원인	한국표준과학연구원
출원번호	10-2009-0026324
출원일자	2009-03-27
공개번호	20101011
공개일자	2011-08-11
등록번호	10-1055867-0000
등록일자	2011-08-03
권리구분	KPTN
초록	본 발명은 금속 나노 점을 포함하는 갭 소자에 관한 것이다. 보다 상세하게는 리소그라피 기술로 형성된 전극과 전극 사이의 이격 거리가 큰 소자를 열처리 공정을 이용하여 두 전극 사이의 다수의 금속 나노 점(nano dot)이 형성된 갭 소자 로 상기 갭 소자를 이용하여 우수한 성능을 필요한 바이오센서와 메모리 소자를 용이하게 제작할 수 있으며, 특히 생체 분자 검출 소자에 있어서는 생체 분자의 검출 감도를 고효율로 하면서도 통계적인 측정방법에 용이하게 적용할 수 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1020090026324
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