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진공 처리 장치를 위한 접지 어셈블리

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기관명	NDSL
출원인	오보텍 엘티 솔라 엘엘씨
출원번호	10-2012-0042644
출원일자	2012-04-24
공개번호	20121109
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	진공 처리 챔버는 기판 캐리어에 대해 개선된 전기 콘택을 갖는다. 특정 실시예는 캐리어를 지지하기 위한 기대를 갖는 플라즈마 처리 챔버를 제공하는데, 복수의 고정된 기둥 및 탄성 콘택은 기대의 영역에 걸쳐 분포된다. 탄성 콘택이 캐리어에 대해 신뢰성 있는 그리고 반복 가능한 멀티 포인트 전기 콘택을 제공하는데 반해, 고정된 기둥은 캐리어에 대해 물리적 지지를 제공한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020120042644
첨부파일