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특허/실용신안
플라즈마 보조 물리 기상 증착원
특허 실용신안 개요
| 기관명 | NDSL |
|---|---|
| 출원인 | 한국기초과학지원연구원 |
| 출원번호 | 10-2013-0009719 |
| 출원일자 | 2013-01-29 |
| 공개번호 | 20140807 |
| 공개일자 | 2014-08-21 |
| 등록번호 | 10-1432514-0000 |
| 등록일자 | 2014-08-14 |
| 권리구분 | KPTN |
| 초록 | 본 발명은 플라즈마를 이용한 물리 기상 증착원 관한 것으로서, 고진공에서 박막을 형성하는 열적 물리 기상 증착원(Thermal Physical Vapor Deposition)에 플라즈마를 결합하는 기술에 관한 것이다. |
| 원문URL | http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1020130009719 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| IPC분류체계CODE | |
| 주제어 (키워드) |