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LED 제조를 위한 PVD 버퍼 층들

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기관명	NDSL
출원인	어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
출원번호	10-2014-7033306
출원일자	2014-11-26
공개번호	20150212
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	물리 기상 증착(PVD)으로 형성된 알루미늄 질화물 버퍼 층들을 갖는 갈륨 질화물-기반 발광 디바이스들의 제조가 설명된다.PVD AlN 버퍼 층을 위한 프로세스 조건들이 또한 설명된다.PVD 알루미늄 질화물 버퍼 층을 위한 기판 선처리가 또한 설명된다.예를 들어, 기판 위에 버퍼 층을 제조하는 방법은 기판의 표면을 선처리하는(pre-treating) 단계를 포함한다.방법은 또한, 후속적으로, 질소-기반 가스 또는 플라즈마와 함께, 물리 기상 증착(PVD) 챔버 내에 하우징된 알루미늄-함유 타겟으로부터, 기판의 표면 상에 알루미늄 질화물(AlN) 층을 반응성 스퍼터링하는(reactive sputtering) 단계를 포함한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020147033306
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