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HPPD를 이용한 나노 구조체형 열전박막 형성장치

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기관명	NDSL
출원인	한국표준과학연구원
출원번호	10-2014-0167086
출원일자	2014-11-27
공개번호	20160609
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 실시예에 따른 HPPD를 이용한 나노 구조체형 열전박막 형성장치는 플라즈마 가스 주입구가 일측에 배치되며, 에너지 부가유닛이 설치된 플라즈마 토치유닛; 상기 플라즈마 토치유닛에 결합되며, 적어도 하나 이상의 반응체 주입부와 나노입자가 배출되는 노즐을 가지는 반응체 주입유닛; 내부가 진공을 유지하도록 일단에 펌프유닛이 설치되는 디포지션 챔버; 및 상기 디포지션 챔버의 상기 노즐을 마주보는 면에 배치되는 기판;을 포함하며, 상기 디포지션 챔버 내부의 압력은 100 내지 1000Pa로 형성되어, 상기 노즐에서 가속된 나노입자의 관성력에 의해 상기 기판 표면에서 물리적 증착과 고온으로 활성화된 기상 반응체에 의한 화학적 증착이 동시에 진행될 수 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020140167086
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