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특허/실용신안
혼합된 연마제 연마 조성물
특허 실용신안 개요
| 기관명 | NDSL |
|---|---|
| 출원인 | 캐보트 마이크로일렉트로닉스 코포레이션 |
| 출원번호 | 10-2016-7011919 |
| 출원일자 | 2016-05-04 |
| 공개번호 | 20160623 |
| 공개일자 | 0000-00-00 |
| 등록번호 | |
| 등록일자 | 0000-00-00 |
| 권리구분 | KUPA |
| 초록 | 본 발명은 화학-기계적 연마 조성물 및 기판을 화학-기계적 연마 조성물로 화학-기계적으로 연마하는 방법을 제공한다.연마 조성물은 세리아 입자인 제1 연마 입자, 세리아 입자, 표면-개질 실리카 입자 또는 유기 입자인 제2 연마 입자, pH-조정제, 및 수성 담체를 포함한다.연마 조성물은 또한 다중모드 입자 크기 분포를 나타낸다. |
| 원문URL | http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167011919 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| IPC분류체계CODE | C09G-001/02,B24B-001/00,C09K-003/14,H01L-021/304,H01L-021/3105,H01L-021/321 |
| 주제어 (키워드) |