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화학 증착 원료용 유기 루테늄 화합물 및 그 유기 루테늄 화합물의 제조방법

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기관명	NDSL
출원인	다나카 기킨조쿠 고교 가부시키가이샤
출원번호	10-2016-7014241
출원일자	2016-05-27
공개번호	20160616
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명은 도데카카르보닐 트리루테늄(DCR)으로 이루어지는 화학 증착 원료용 유기 루테늄 화합물에 있어서 철(Fe)의 농도가 1 ppm 이하인 것을 특징으로 하는 화학 증착 원료용 유기 루테늄 화합물이다. 본 발명에 있어서의 DCR은 루테늄염과 일산화탄소와 반응시켜서 루테늄을 직접 카르보닐화하여 조 DCR(crude DCR)을 얻는 동시에 조 DCR을 승화법에 의해 정제함으로써 제조할 수 있다. 이 합성 공정에 있어서는 얻어지는 조 DCR의 Fe 농도를 10 ppm 이하로 하는 것이 바람직하다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167014241
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