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플라즈마 발생 장치

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기관명	NDSL
출원인	마이어 부르거 (저머니) 아게
출원번호	10-2016-7009540
출원일자	2016-04-11
공개번호	20160519
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명의 대상은 플라즈마 발생 장치로서, 상기 플라즈마 발생 장치의 경우 플라즈마 공간 내에서 플라즈마 내 에너지 결합을 위한 적어도 하나의 유도성 장치(inductive device) 및 적어도 하나의 용량성 장치(capacitive device)가 제공되어 있다.상기 적어도 하나의 유도성 장치 및 상기 적어도 하나의 용량성 장치는 서로 분리되어 상이한 주파수 발생기들에 의해, 혹은 공동의 주파수 발생기에 의해 에너지가 공급될 수 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167009540
첨부파일