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유기 초분자의 자기조립과 자외선 에칭을 이용한나노패턴의 형성방법

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기관명	NDSL
출원인	한국과학기술원
출원번호	10-2003-0037752
출원일자	2003-06-12
공개번호	20080509
공개일자	2005-10-26
등록번호	10-0523767-0000
등록일자	2005-10-18
권리구분	KPTN
초록	본 발명은 기판(SUBSTRATE) 상에 유기 초분자 박막을 형성시킨 다음, 열처리에 의해 유기분자들의 자기조립(SELF-ASSEMBLY)을 유도하고, 이에 따라 형성된 일정한 유기 초분자 구조에 UV를 조사하여 구멍모양의 나노패턴을 형성하는 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 나노패턴은 기록소자, 탄소 나노튜브 제조용 주형(TEMPLATE), 바이오 나노어레이, 새로운 나노패턴의 형성을 위한 마스크, 분리용 막의 소재 개발 등에 유용하게 활용될 수 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1020030037752
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