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질화갈륨층을 포함하는 기판 및 그 제조 방법

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기관명	NDSL
출원인	엔지케이 인슐레이터 엘티디
출원번호	10-2016-7016211
출원일자	2016-06-17
공개번호	20160707
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	질화갈륨층을 갖는 기판에 있어서, 질화갈륨층의 표면 처리 후의 표면 손상을 저감하여, 그 위에 형성하는 기능 소자의 품질을 개선한다. 적어도 질화갈륨층을 갖는 기판(4)을 제공한다. 유도 결합식 플라즈마 발생 장치를 구비한 플라즈마 에칭 장치를 이용하며, 규격화된 직류 바이어스 전위를 -10 V/㎠ 이상으로 하여 불소계 가스를 도입하여, 질화갈륨층(3)의 표면(3a)을 드라이 에칭 처리한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167016211
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