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광자 유체 소자 및 그의 제조방법

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기관명	NDSL
출원인	한국과학기술원
출원번호	10-2008-0035668
출원일자	2008-04-17
공개번호	20091026
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명은 광자 유체 소자 및 그의 제조방법에 관한 것으로 종래의 광식각법과 홀로그래피 식각법을 융합하여 새로운 형태의 광자 유체 소자를 구현하는 것이다. 본 발명에 의하면, 광식각법에 의해 미세 유채 채널의 모양을 결정하고, 상부가 평탄한 프리즘을 이용한 홀로그래피 식각법을 통해 3차원 광자 결정을 구현함에 따라 제조공정을 단순화하며 결함을 감소시켜 광소자 및 바이오 센서 등의 실질적인 응용에 사용할 수 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020080035668
첨부파일