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CD 균일성을 향상시키기 위한 기판 온도의 조절

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기관명	NDSL
출원인	램 리써치 코포레이션
출원번호	10-2016-7020421
출원일자	2016-07-26
공개번호	20160808
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	다수의 독립적으로 제어가능한 히터 존들을 구비한 기판 지지 어셈블리를 갖는 플라즈마 식각 시스템. 플라즈마 식각 시스템은, 임계 디바이스 파라미터들의 프리 식각 및/또는 포스트 식각 비균일성이 보상될 수 있도록 미리결정된 위치들의 식각 온도를 제어하도록 구성된다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167020421
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