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생물학적 전계-효과 트랜지스터(BIOFET) 디바이스를 제조하는 방법 및 그 디바이스

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기관명	NDSL
출원인	타이완 세미콘덕터 매뉴팩쳐링 컴퍼니 리미티드
출원번호	10-2013-0061900
출원일자	2013-05-30
공개번호	20140620
공개일자	2015-02-06
등록번호	10-1491257-0000
등록일자	2015-02-02
권리구분	KPTN
초록	BioFET 디바이스는 제1 표면 상에 배치되는 게이트 구조 및 기판의 제2 표면 상에 형성된 계면층을 포함한다. 기판은 계면층을 형성하기 이전에 채널 영역을 노출하도록 제2 표면으로부터 박화된다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1020130061900
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