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전자 근접 효과들의 보정을 위한 방법

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기관명	NDSL
출원인	아셀타 나노그라픽
출원번호	10-2016-7008193
출원일자	2016-03-28
공개번호	20160510
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	전자 빔을 타겟 상으로 투사하기 위한 방법은 타겟에 있어서의 전자들의 산란 효과들의 보정을 포함한다. 이러한 보정은 구간적 다항 함수에 따른 방사상 변동을 갖는 포인트 확산 함수의 계산 단계에 의해 가능하게 된다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167008193
첨부파일