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탄화규소 단결정 웨이퍼의 내부 응력 평가 방법, 및 탄화규소 단결정 웨이퍼의 휨의 예측 방법

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기관명	NDSL
출원인	신닛테츠스미킹 마테리알즈 가부시키가이샤
출원번호	10-2016-7009961
출원일자	2016-04-15
공개번호	20160526
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	탄화규소(SiC) 단결정 웨이퍼의 내부 응력을 평가하는 방법, 및 웨이퍼의 내부 응력을 평가하여, 연마 완료 후의 SiC 단결정 웨이퍼의 휨을 예측하는 방법을 제공한다. 라만 산란광의 파수 시프트량을 SiC 단결정 웨이퍼 면 내의 2점에서 측정하고, 그 차분에 의해 내부 응력을 평가한다.또한, 승화 재결정법에 의해 제조된 탄화규소 단결정 웨이퍼의 휨을 사전에 예측하는 방법이며, 상기한 평가 지표를 사용하여 SiC 단결정 웨이퍼의 휨을 예측한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167009961
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