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편광 독립적 간섭계

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기관명	NDSL
출원인	,
출원번호	10-2016-7012111
출원일자	2016-05-09
공개번호	20160616
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	장치, 시스템들 및 방법들은 편광 독립적 간섭계를 이용하여 기판 상의 피처의 정렬을 검출하는 데 사용된다.장치, 시스템 및 방법들은 기판 상의 마크로부터 회절 또는 산란된 광을 수용하는 광학 요소들을 포함한다.광학 요소들은 1 이상의 검출기에 의해 검출되는 광의 다수 서브빔들로 회절 광을 분할할 수 있다.회절 광은 광학적으로 또는 검출 후 처리하는 동안 조합될 수 있다.시스템은 여하한의 편광 각도 또는 상태를 갖는 수용된 회절 광에 기초하여 정렬 및/또는 오버레이를 결정할 수 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167012111
첨부파일