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에피택시 기판, 에피택시 기판의 제조 방법 및 에피택시 기판을 구비한 광전 반도체 칩

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기관명	NDSL
출원인	오스람 옵토 세미컨덕터스 게엠베하
출원번호	10-2014-7030905
출원일자	2014-11-03
공개번호	20150115
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명은 질화물 화합물 반도체 재료용 에피택시 기판(11, 12, 13)에 관한 것이다. 상기 기판은 기판(1) 바로 위에 핵 생성 층(2)을 포함하고, 상기 핵 생성 층(2)은 기둥 구조를 가진 AlON로 이루어진 적어도 하나의 제1 층(21)을 포함한다. 또한, 본 발명은 에피택시 기판의 제조 방법 및 에피택시 기판을 구비한 광전 반도체 칩에 관한 것이다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020147030905
첨부파일