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묘화 데이터의 작성 방법

기관명, 출원인, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 권리구분, 초록, 원본url, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
기관명	NDSL
출원인	가부시키가이샤 뉴플레어 테크놀로지
출원번호	10-2015-0167530
출원일자	2015-11-27
공개번호	20160609
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명의 일 태양의 묘화 데이터의 작성 방법은, 하전 입자빔을 이용하여 시료에 도형 패턴을 묘화하는 묘화 장치에 입력되기 위한 묘화 데이터의 작성 방법에 있어서, 도형 패턴의 도형 정보와 도형 정보가 정의되기 전 혹은 후에 도형 패턴의 각 모서리부의 위치에서의 각각의 도스량 혹은 도스 변조율을 나타내는 도스량 정보가 연속하여 정의되는 데이터 포맷에 따라 상기 묘화 데이터를 작성하는 것을 특징으로 한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020150167530
첨부파일