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대상 시료의 영역의 두께를 줄이는 방법

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기관명	NDSL
출원인	옥스포드 인스트루먼츠 나노테크놀로지 툴스 리미티드
출원번호	10-2015-7035160
출원일자	2015-12-10
공개번호	20160121
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	대상 시료의 영역의 두께를 줄이는 방법이 제공된다. 제1 세트의 빔 조건 하에서 기준 시료의 일부에 지시되는 입자 빔에 의해 발생하는 엑스레이의 표현인 기준 데이터가 얻어진다. 제2 세트의 빔 조건 하에서 입자 빔이 대상 시료의 영역에 지시된다. 엑스레이의 결과는 감시된 데이터로서 감시된다. 출력 데이터는 그 후 기준 및 감시된 데이터를 기반으로 계산된다. 물질은 그 후 영역으로부터 제거되어, 그것의 두께를 출력 데이터에 따라 줄일 수 있도록 한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020157035160
첨부파일