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특허/실용신안
중성빔을 이용한 식각장치
특허 실용신안 개요
| 기관명 | NDSL |
|---|---|
| 출원인 | 삼성전자주식회사 |
| 출원번호 | 10-2007-0000674 |
| 출원일자 | 2007-01-03 |
| 공개번호 | 20080715 |
| 공개일자 | 0000-00-00 |
| 등록번호 | |
| 등록일자 | 0000-00-00 |
| 권리구분 | KUPA |
| 초록 | 본 발명은 중성빔을 이용한 식각장치에 관한 것으로, 특히 본 발명은 플라즈마로부터 추출된 이온빔을 전자와의 충돌에 의해 중성빔으로 전환시키는 전자방출부를 마련하여 다수의 그리드에 의해 플라즈마로부터 추출된 이온빔에 전자를 충돌시켜 이온빔을 중성빔으로 전환시킴으로써 이온빔이 전자방출부에 물리적으로 충돌하는 것을 방지할 수 있어 간단한 구조로도 중성화수단의 손상 및 이물질 생성을 방지할 수 있고 이온빔을, 높은 중성화 효율을 가지며 방향성 및 에너지 손실을 동반하지 않는 중성빔으로 전환할 수 있을 뿐만 아니라, 대면적의 중성빔 발생이 가능하여 반도체 웨이퍼를 보다 균일하게 식각할 수 있다. |
| 원문URL | http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020070000674 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| IPC분류체계CODE | |
| 주제어 (키워드) |