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프로브 구조체 및 프로브 구조체 제조방법

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기관명	NDSL
출원인	(주) 미코에스앤피
출원번호	10-2007-0017762
출원일자	2007-02-22
공개번호	20080902
공개일자	2013-09-02
등록번호	10-1302264-0000
등록일자	2013-08-26
권리구분	KPTN
초록	하부 기판상에, 외부의 물리력에 탄성적으로 수축 또는 팽창하고 기판과 지지 빔의 중간에 연결되어 구조적 지지대 역할을 하는 지지 본체부를 패터닝에 의해 형성하는 단계와, 상부 기판 하부에 포토리소그래피에 의해 형성되는 평면 절곡 구조로써 외부의 물리력에 탄성적으로 운동하며 지지 본체부와 프로브 팁을 연결하는 지지 빔을 형성하는 단계와, 지지 본체부와 지지 빔을 결합하는 단계와 상부 기판과 무관하게 상기 지지 빔 위에 검사대상 소자의 검사부와 직접 접촉하는 프로브 팁을 포토리소그래피를 이용하여 형성하는 단계를 포함하는 프로브 구조체 제조방법이다. 프로브 팁과 지지 빔은 일체적으로 제조되지 않고 개별적인 웨이퍼에서 분리되어 형성되며, 프로브 팁의 형성은 웨이퍼 안이 아닌 밖에서 제조되는 양각법에 의하여 수행된다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1020070017762
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