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반도체 웨이퍼의 전자빔 검사용 반도체 집적 테스트 구조

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기관명	NDSL
출원인	,,
출원번호	10-2008-0004030
출원일자	2008-01-14
공개번호	20081015
공개일자	2013-11-28
등록번호	10-1333760-0000
등록일자	2013-11-21
권리구분	KPTN
초록	단일한 에너지 전자빔 스캔으로 집적 테스트 구조의 전압 콘트라스트를 검사함으로써, 전기적 및 물리적 결함을 검출하는 반도체 장치가 제공된다. 반도체 장치는 반도체 기판 상에 형성된 집적 장치 어레이를 포함하되, 집적 장치 어레이의 일부는 테스트 구조 영역을 포함하며, 테스트 구조 영역은, 인접하는 제1 및 제2 활성 영역으로서, 제1 활성 영역은 n-웰에 형성된 p-도핑 확산 영역을 포함하고, 제2 활성 영역은 p-웰에 형성된 n-도핑 확산 영역을 포함하는 제1 및 제2 활성 영역, 제1 및 제2 활성 영역 상에 형성되어 p-도핑 확산 영역 및 n-도핑 확산 영역에 전기적으로 연결되는 도전 패턴, 도전 패턴 상에 형성된 절연막, 및 절연막 내에 형성되고, 도전 패턴과 접촉하는 하나 이상의 콘택 플러그를 포함한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1020080004030
첨부파일