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타겟에 동시에 RF 및 DC 전력을 사용하는 초균일한 스퍼터 증착을 위한 방법

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기관명	NDSL
출원인	어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
출원번호	10-2011-7004973
출원일자	2011-03-02
공개번호	20110509
공개일자	2016-06-13
등록번호	10-1629396-0000
등록일자	2016-06-03
권리구분	KPTN
초록	플라즈마 강화 물리 기상 증착 반응기에서, 워크피스에 걸친 증착 속도의 방사상 분포의 균일성은, 타겟에 RF 및 D.C. 전력 둘 모두를 인가하고, RF 및 D.C. 전력의 전력 레벨들을 독립적으로 조정함으로써 향상된다.타겟 위의 자석의 높이를 조정하고, 타겟 위의 자석의 궤도 운동의 반경을 조정하며, 그리고 타겟의 기울어진 에지 표면을 제공함으로써 추가적인 최적화가 얻어진다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1020117004973
첨부파일

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