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특허/실용신안

조사 장치 내에 배열된 수집기 광학계의 동작 수명 향상 방법 및 대응 조사 장치

특허 실용신안 개요

기관명, 출원인, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 권리구분, 초록, 원본url, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
기관명 NDSL
출원인 코닌클리즈케 필립스 일렉트로닉스 엔.브이.
출원번호 10-2010-7013692
출원일자 2010-06-21
공개번호 20101011
공개일자 0000-00-00
등록번호
등록일자 0000-00-00
권리구분 KUPA
초록 본 발명은 조사 장치 내에 배열된 광 수집기 유닛(3, 6)의 동작 수명을 증가시키는 방법에 관한 것이다.상기 조사 장치는 적어도, 광 방사선, 특히 극자외선 또는 소프트 X선을 방출하는 방사선 소스(1) - 상기 방사선 소스(1)는 상기 광 수집기 유닛(3, 6)의 광학 표면들과 충돌하는 물질들 및/또는 입자들을 생성하며, 상기 광 수집기 유닛은 상기 방사선 소스(1)에 의해 방출되는 상기 방사선 중 일부의 방사선 빔을 형성함 - ; 및 상기 방사선 소스(1)와 상기 광 수집기 유닛(3, 6) 사이에 배열되는 파편 경감 유닛(37)을 포함한다.제안된 방법에서, 상기 광 수집기 유닛(3, 6)은 상기 장치의 동작 동안에 그리고/또는 상기 장치의 동작 중지시에 이동되어, 상기 물질들 및/또는 입자들과 상기 수집기 유닛(3, 6)의 광학 표면들의 충돌에 의해 발생하는 퇴적들 또는 열화 효과들이 상기 이동이 없는 경우보다 상기 광학 표면들 상에 더 균일하게 분포되게 한다.본 방법 및 대응 장치에서, 수집기 유닛의 광학 표면들은 더 균일하게 열화되어, 수집기 유닛의 수명을 증가시킨다.
원문URL http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020107013692
첨부파일

추가정보

과학기술표준분류, ICT 기술분류, IPC분류체계CODE, 주제어 (키워드) 순으로 구성된 표입니다.
과학기술표준분류
ICT 기술분류
IPC분류체계CODE G03F-007/20,H01L-021/027
주제어 (키워드)