초록 |
본 발명은 조사 장치 내에 배열된 광 수집기 유닛(3, 6)의 동작 수명을 증가시키는 방법에 관한 것이다.상기 조사 장치는 적어도, 광 방사선, 특히 극자외선 또는 소프트 X선을 방출하는 방사선 소스(1) - 상기 방사선 소스(1)는 상기 광 수집기 유닛(3, 6)의 광학 표면들과 충돌하는 물질들 및/또는 입자들을 생성하며, 상기 광 수집기 유닛은 상기 방사선 소스(1)에 의해 방출되는 상기 방사선 중 일부의 방사선 빔을 형성함 - ; 및 상기 방사선 소스(1)와 상기 광 수집기 유닛(3, 6) 사이에 배열되는 파편 경감 유닛(37)을 포함한다.제안된 방법에서, 상기 광 수집기 유닛(3, 6)은 상기 장치의 동작 동안에 그리고/또는 상기 장치의 동작 중지시에 이동되어, 상기 물질들 및/또는 입자들과 상기 수집기 유닛(3, 6)의 광학 표면들의 충돌에 의해 발생하는 퇴적들 또는 열화 효과들이 상기 이동이 없는 경우보다 상기 광학 표면들 상에 더 균일하게 분포되게 한다.본 방법 및 대응 장치에서, 수집기 유닛의 광학 표면들은 더 균일하게 열화되어, 수집기 유닛의 수명을 증가시킨다. |