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다공성 물질 및 다공성 물질을 특성화하는 방법 및 시스템

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기관명	NDSL
출원인	도쿄엘렉트론가부시키가이샤
출원번호	10-2007-7002483
출원일자	2007-01-31
공개번호	20080509
공개일자	2011-12-09
등록번호	10-1092704-0000
등록일자	2011-12-05
권리구분	KPTN
초록	본 발명은 다공성(porous) 물질 상의 처리의 유효성을 진단하는 방법 및 시스템을 제공한다.예를 들면, 다공성 물질은 다공성 저 유전 상수의 재료를 포함할 수 있다.특히, 본 방법은 FTIR 분광학을 이용하여 물질의 다공률을 특성화하고, 물질 내의 세공(pore)의 밀봉 유효성을 평가할 수 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1020077002483
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