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진공 물리적 기상 증착을 위한 성형 애노드 및 애노드-실드 접속

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기관명	NDSL
출원인	후지필름 가부시키가이샤
출원번호	10-2011-7014639
출원일자	2011-06-24
공개번호	20110909
공개일자	2013-04-22
등록번호	10-1256856-0000
등록일자	2013-04-16
권리구분	KPTN
초록	물리적 기상 증착 장치는 측벽을 갖는 진공 챔버, 캐소드, 고주파 전원 장치, 기판 지지체, 실드, 및 애노드를 포함한다. 캐소드는 진공 챔버 내부에 있으며 스퍼터링 타겟을 포함하도록 구성된다. 고주파 전원 장치는 캐소드에 전력을 인가하도록 구성된다. 기판 지지체는 진공 챔버 내부에 있으며 그 진공 챔버의 측벽으로부터 전기적으로 절연된다. 실드는 진공 챔버의 내부에 있으며 그 진공 챔버의 측벽에 전기적으로 접속된다. 애노드는 진공 챔버의 내부에 있으며 그 진공 챔버의 측벽에 전기적으로 접속된다. 애노드는 환상체 및 환상체로부터 내부로 돌출되는 환상 플랜지를 포함하며, 환상 플랜지는 플라즈마의 생성을 위해 타겟의 아래쪽에 용적을 규정하도록 위치결정된다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1020117014639
첨부파일

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