실시간 테라헤르츠 분광 영상장치
기관명 | NDSL |
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출원인 | 이대수 |
출원번호 | 10-2010-0024158 |
출원일자 | 2010-03-18 |
공개번호 | 20110923 |
공개일자 | 2011-09-19 |
등록번호 | 10-1065496-0000 |
등록일자 | 2011-09-08 |
권리구분 | KPTN |
초록 | 본 발명은 본 발명은 테라헤르츠 파를 사용하여 샘플의 각 위치마다의 물질에 대한 분광 데이터를 측정하는 측정부, 측정부로부터 얻은 분광 데이터를 처리하여 샘플의 각 위치의 물질을 식별하는 데이터처리부 및 처리된 데이터를 기초로 샘플의 이미지를 구현하는 영상부로 구성된 실시간 테라헤르츠 분광 영상 시스템에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 고속 테라헤르츠 분광 및 실시간 테라헤르츠 영상의 장점을 결합한 방식으로서 샘플의 각 위치에 대한 분광 데이터를 고속으로 획득 및 처리하여 영상화하므로 샘플의 각 위치의 물질을 실시간으로 식별할 수 있기 때문에 반도체 공정, 제품의 불량검사, 비파괴 검사 ,보안검색뿐만 아니라 생의학 진단 등 많은 분야에서 다양하게 쓰일 수 있는 장점이 있다. |
원문URL | http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1020100024158 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
IPC분류체계CODE | G01N-021/35,H01L-021/66,G01J-003/28 |
주제어 (키워드) |