| 초록 |
본 발명의 일 실시예는 물리 기상 증착법을 이용한 태양 전지의 제조 방법 및 이에 따른 태양 전지에 관한 것으로, 해결하고자 하는 기술적 과제는 결정화 시간이 상대적으로 짧고, 결정 크기가 상대적으로 크며, 결정화 분율 및 캐리어 농도가 높고, 또한 대면적화 및 고품질화가 용이하며, 저온 공정이 가능한 물리 기상 증착법을 이용한 태양 전지의 제조 방법 및 이에 따른 태양 전지를 제공하는데 있다. 이를 위해 본 발명의 일 실시예는 기판을 준비하는 기판 준비 단계; 상기 기판에 제1비정질 실리콘층을 증착하는 제1비정질 실리콘층 증착 단계; 상기 제1비정질 실리콘층에 전자빔을 조사함으로써 다결정질 실리콘으로 결정화하는 씨앗층 형성 단계; 상기 씨앗층에 제2비정질 실리콘층을 증착하는 제2비정질 실리콘층 증착 단계; 및 상기 제2비정질 실리콘층에 전자빔을 조사함으로써 다결정질 실리콘으로 결정화하는 흡수층 형성 단계로 이루어진 물리 기상 증착법을 이용한 태양 전지의 제조 방법 및 이에 따른 태양 전지를 제공한다. |
