금속 산화물 다결정체
기관명 | NDSL |
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출원인 | 우베 마테리알즈 가부시키가이샤 |
출원번호 | 10-2011-0002213 |
출원일자 | 2011-01-10 |
공개번호 | 20110801 |
공개일자 | 0000-00-00 |
등록번호 | |
등록일자 | 0000-00-00 |
권리구분 | KUPA |
초록 | 과제 흡습성이 낮고, 전자빔 증착법 등의 물리 기상 성장법에 의해 안정된 조건에서 스트론튬과 칼슘을 함유하는 산화물막을 제조하기 위한 증착재로서 유리하게 사용할 수 있는 금속 산화물 다결정체를 제공한다. 해결 수단 스트론튬과 칼슘을 몰비로 0.2 : 0.8 ∼ 0.8 : 0.2 의 범위가 되는 비율로 함유하는 결정 입자로 형성된 금속 산화물 다결정체로서, 규소, 알루미늄, 티탄, 지르코늄 및 희토류 원소로 이루어지는 군에서 선택되는 1 종 이상의 금속 원소를, 스트론튬과 칼슘의 합계 몰량을 100 몰로 했을 때에 0.0005 ∼ 20 몰의 범위가 되는 양으로 함유하고, 또한 평균 세공 직경이 0.01 ∼ 0.50 ㎛ 의 범위에 있는 금속 산화물 다결정체. |
원문URL | http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020110002213 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
IPC분류체계CODE | C01F-011/02,C04B-035/01,C23C-014/08,C23C-014/30 |
주제어 (키워드) |