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프린트 배선판의 제조 방법

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기관명	NDSL
출원인	,
출원번호	10-2012-0069959
출원일자	2012-06-28
공개번호	20130322
공개일자	2014-05-21
등록번호	10-1397223-0000
등록일자	2014-05-13
권리구분	KPTN
초록	(과제) 소직경의 비아용 개구 내의 수지 잔류물을 제거하여, 접속 신뢰성이 높은 비아 도체를 형성할 수 있는 환경 조화형 다층 프린트 배선판의 제조 방법을 제공한다. (해결 수단) 2 탄소 사이의 2 중 결합 및 플루오로알킬에테르기를 갖는 플루오로비닐에테르계의 가스를 혼합한 프로세스 가스를 사용하여 전자 밀도가 높은 대기압 플라즈마 처리를 실시하면, 비아 도체용 개구의 바닥의 수지 잔류물을 화학적 반응에 의해 제거하는 F 라디칼, CF 라디칼, CF 2 라디칼, CF 3 라디칼이 낮은 혼합비로 윤택하게 얻어지고 화학적 제거가 효율적으로 진행되어, 플라즈마 중의 입자에 의한 물리적 제거와의 상승 효과에 의해 비아의 수지 잔류물이 제거된다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1020120069959
첨부파일

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