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특허/실용신안
레이저 충격파가 인가된 화학액을 이용한 기판 세정 장치및 방법
특허 실용신안 개요
| 기관명 | NDSL |
|---|---|
| 출원인 | 삼성전자주식회사 |
| 출원번호 | 10-2007-0039877 |
| 출원일자 | 2007-04-24 |
| 공개번호 | 20081104 |
| 공개일자 | 0000-00-00 |
| 등록번호 | |
| 등록일자 | 0000-00-00 |
| 권리구분 | KUPA |
| 초록 | 본 발명은 레이저 충격파가 인가된 화학액을 이용한 기판 세정 장치 및 방법에 관한 것으로, 기판을 지지하는 척과, 상기 기판에 레이저 충격파가 인가된 세정액을 제공하는 노즐과, 상기 레이저 충격파를 유도하는 레이저 빔을 발생시켜 상기 노즐로 조사하는 레이저 빔 발생기와, 상기 레이저 빔 발생기로부터 상기 노즐까지의 상기 레이저 빔의 경로를 변경시키는 광학기구를 포함하는 기판 세정 장치를 이용하여 레이저 충격파가 인가된 세정액으로써 기판을 화학적 및 물리적 힘으로 세정하는 것을 특징으로 한다. |
| 원문URL | http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020070039877 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| IPC분류체계CODE | |
| 주제어 (키워드) |