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주름진 선형 미세구조체의 전사방법

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기관명	NDSL
출원인	한국기초과학지원연구원
출원번호	10-2012-0074657
출원일자	2012-07-09
공개번호	20140123
공개일자	2014-08-05
등록번호	10-1425524-0000
등록일자	2014-07-25
권리구분	KPTN
초록	본 발명에 의한 주름진 선형 미세구조체의 전사방법은, (a) 확장된 탄성체 기판 위에 선형 미세구조체를 형성하는 단계, (b) 탄성체 기판을 수축시켜 미세구조체에 주름을 형성하는단계, (c) 경화성 수지층을 준비하고, 주름진 선형 미세구조체가 경화성 수지층의 표면에 밀착되도록 탄성체 기판을 경화성 수지층에 결합하는 단계, (d) 경화성 수지층을 경화시켜 주름진 선형 미세구조체를 경화성 수지층의 표면에 고정하는 단계, (e) 탄성체 기판을 경화된 경화성 수지층에서 분리하는 단계를 포함한다. 본 발명은 주름진 선형 미세구조체를 형성하여 그 형태를 그대로 유지한 상태로 다른 임의의 기판으로 안정적으로 전사하고, 주름진 선형 미세구조체가 전사된 임의의 기판에 전극 등을 형성함으로써, 주름진 선형 미세구조체에 대한 구조적, 분광학적, 전기적 특성을 용이하고 정확하게 측정하고 분석할 수 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1020120074657
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