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기판 검사 장치 및 기판 검사 방법

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기관명	NDSL
출원인	오에누 덴시 가부시키가이샤
출원번호	10-2004-0002863
출원일자	2004-01-15
공개번호	20080509
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	하나의 장치 내에서 외관 검사와 X선 투과 검사를 가능하게 하여, 설치 공간을 줄임과 아울러 검사 시간을 단축할 수 있는 기판 검사 방법을 제공한다.외관 검사부(2)에서 광을 기준으로 되는 프린트 기판에 조사하고, 그 반사광에 근거하여 광학 기준 화상을 생성하며, X선 검사부(3)에서 X선을 기준으로 되는 프린트 기판에 조사하고, 그 투과 상(像)을 X선 기준 화상으로서 생성하며, 외관 검사부(2)에서 광을 검사 대상으로 되는 프린트 기판에 조사하고, 그 반사광에 근거한 화상과 광학 기준 화상을 비교하는 것에 의해, 프린트 기판에서의 전자 부품의 접속 부분의 양부(良否)를 판별하며, X선 검사부(3)에서 양부가 판별된 프린트 기판에 X선을 조사하여 투과한 X선 상(像)을 촬영한 X선 상과 X선 기준 화상을 비교해서, 프린트 기판에서의 전자 부품의 접속 부분의 양부를 판별한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020040002863
첨부파일

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