| 초록 |
목표물 주변의 재료의 전기적 및/또는 물리적 특성에 바람직하지 않은 변화를 야기하지 않으면서 마이크로스코픽(microscopic) 영역에 있는, 마이크로구조 등의 목표물을 처리하기 위한 방법 및 시스템이 제공된다. 이 시스템은 컨트롤신호를 발생하는 컨트롤러와 변조된 구동파형을 컨트롤신호에 근거하여 발생하는 신호발생기를 포함한다. 이 시스템은 또한 반복 속도에 레이저 펄스 트레인을 발생하는, 파장을 가진 이득 스위치 펄스 시드 레이저를 포함한다. 구동파형은 펄스 트레인의 각 펄스가 소정의 형상을 가지도록 펌핑(pumping)한다. 더 나아가, 이 시스템은 펄스의 소정의 형상을 현저히 변화시키지 않으면서 펄스 트레인을 광학적으로 증폭시켜 증폭된 펄스 트레인을 획득하게 하는 레이저 증폭기를 포함한다. 증폭된 펄스 각각은 실질적으로 사각형인 시간적 파워 밀도 분포, 가파른 상승시간, 펄스 기간, 및 하강시간을 가진다. 시스템은 또한 증폭된 펄스 트레인의 적어도 일부분을 목표물 재료의 스폿(spot)에 인가 및 집속(focusing)하는 빔 인가 및 집속 서브시스템을 포함한다. |
