| 기업공감원스톱서비스

진공펌프 상태진단 시스템

기관명, 출원인, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 권리구분, 초록, 원본url, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
기관명	NDSL
출원인	재단법인서울대학교산학협력재단
출원번호	10-2006-0077372
출원일자	2006-08-16
공개번호	20080509
공개일자	2008-01-10
등록번호	10-0793244-0000
등록일자	2008-01-03
권리구분	KPTN
초록	본 발명은 반도체 공정에 사용되는 진공펌프의 동작상태를 진단하여 고장지점에 이르기 전 이를 사전 예측하고 경고를 발동함으로써 제품의 불량률을 줄이고 공정의 신뢰도를 높이는 것을 목적으로 하는 진공펌프 상태진단 시스템 개발에 관한 것이다. 종래에는 압력과 같은 하나의 물리량만을 개별적으로 관찰함으로써 진공펌프 시스템의 이상 유무를 판별하려는 시도가 많았으나 이러한 경우 시스템에 영향을 미치는 다양한 인자간의 상관관계를 전혀 고려할 수 없으므로, 본 발명에서는 다양한 변수들의 정보를 T2이라는 하나의 통계량으로 축약하여 변수 개개의 거동은 물론 변수간 상관관계까지 종합적으로 고려하였다. 전체 분석단계는 크게 1단계와 2단계로 나뉘어지는데, 진공펌프가 설치되어 운영되는 초기 일정 구간을 1단계로 설정하여 상태진단의 기준이 되는 데이터를 취득하게 되며, 이후 2단계에서는 이를 기반으로 실제 상태진단을 수행하게 된다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1020060077372
첨부파일

기업조회