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상온 접합 방법 및 상온 접합 장치

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기관명	NDSL
출원인	,
출원번호	10-2009-7002935
출원일자	2009-02-13
공개번호	20090817
공개일자	2011-07-29
등록번호	10-1053005-0000
등록일자	2011-07-25
권리구분	KPTN
초록	복수의 기판을 중간재를 개재하여 상온에서 접합하는 방법에 있어서, 복수의 타깃을 물리 스퍼터링함으로써 상기 기판의 피접합면 상에 상기 중간재를 형성하는 공정과, 피접합면을 이온 빔으로 활성화하는 공정을 포함하는 상온 접합 방법이다. 이 경우, 복수 종류의 재료로 구성되는 타깃을 물리 스퍼터링하는 것이 바람직하다.기판의 피접합면에서 보아, 다양한 방향으로 배치된 복수의 타깃으로부터 중간재의 재료가 스퍼터링되므로 상기 피접합면으로 중간재를 균일하게 형성할 수 있다.또한, 복수 종류의 재료로 중간재를 형성하고 있으므로, 단일 종류의 재료로 중간재를 형성해도 접합하기 힘든 기판끼리의 상온 접합이 접합 시의 가열이나 과도한 압접 없음으로 가능해진다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1020097002935
첨부파일

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