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플라즈마 처리 방법 및 장치

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기관명	NDSL
출원인	세키스이가가쿠 고교가부시키가이샤
출원번호	10-2011-7008084
출원일자	2011-04-08
공개번호	20110524
공개일자	2012-12-27
등록번호	10-1215667-0000
등록일자	2012-12-18
권리구분	KPTN
초록	대기압 플라즈마 처리에 있어서, 불소원료의 회수율 또는 회수 농도의 변동을 억제하여, 처리의 안정성을 확보한다.대기압 플라즈마 처리부 (2)로부터 배출 라인 (30)에 내놓은 배출 가스를, 분리부 (4)의 분리막 (41)로 회수 라인 (50)에의 회수 가스와 방출 라인 (60)에의 방출 가스로 분리한다.회수 가스를 공정 가스의 적어도 일부에 충당한다.상기 분리할 때, 불소계 원료의 회수율 및 회수 농도 중 어느 한쪽 또는 양쪽이 원하는 것이 되도록, 회수 가스, 방출 가스, 배출 가스 중 적어도 2가지의 가스의 상기 분리에 관한 물리량(바람직하게는 압력)을 공정 가스의 유량에 따라서 조절한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1020117008084
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