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특허/실용신안
웨이퍼 손상 방지 시스템 및 방법
특허 실용신안 개요
| 기관명 | NDSL |
|---|---|
| 출원인 | (주)한국시스톰 |
| 출원번호 | 10-2009-0018498 |
| 출원일자 | 2009-03-04 |
| 공개번호 | 20100920 |
| 공개일자 | 2011-05-30 |
| 등록번호 | 10-1037724-0000 |
| 등록일자 | 2011-05-23 |
| 권리구분 | KPTN |
| 초록 | 본 발명은 반도체 공정과정에서 공정장비의 투입부에 설계되어 웨이퍼의 손상을 방지하도록 하는 웨이퍼 손상 방지 시스템 및 방법에 관한 것이다. 더 자세하게, 웨이퍼가 투입되는 반도체 공정 장비의 투입구 일 측면에 장착되어 상기 웨이퍼를 향해 광이 방출되도록 하는 광원부, 상기 광원부와 대향 되도록 장착되며, 상기 광원부로부터 방출되는 광을 입사받아 전기적 신호인 아날로그 신호로 변환시켜 출력하는 광검출부, 상기 광검출부로부터 출력되는 아날로그 신호를 디지털 신호인 이송 패턴 데이터로 변환한 후 저장되도록 하는 한편, 상기 이송 패턴 데이터를 이용하여 웨이퍼의 이송 패턴의 변화를 감지하고, 이송 패턴에 오류가 있는지를 판단하며, 이송 패턴에 오류가 있는 경우 알람신호가 발생되도록 제어하는 제어부, 상기 제어부의 제어에 따라 상기 이송패턴 데이터를 저장하는 저장부및 상기 제어부의 제어에 따라 알람신호를 발생시키는 알람부를 포함하여 이루어진 다. |
| 원문URL | http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1020090018498 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| IPC분류체계CODE | H01L-021/677,H01L-021/66,H01L-021/02 |
| 주제어 (키워드) |