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기판의 품질 평가 방법 및 그 장치

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기관명	NDSL
출원인	가부시키가이샤 히다치 하이테크놀로지즈
출원번호	10-2011-0126910
출원일자	2011-11-30
공개번호	20120615
공개일자	2013-08-16
등록번호	10-1295463-0000
등록일자	2013-08-05
권리구분	KPTN
초록	본 발명은 ELA 공정에 있어서, 고속이고, 육안 검사원의 품질 평가값이나 최종 화질과 정합이 얻어진 기판의 품질 평가 방법 및 그의 장치를 제공하는 것에 있다. 평가 대상이 되는 기판을 한 방향으로 연속적으로 이동시키면서 기판에 경사 방향으로부터 광을 조사해서 기판 상에 형성된 다결정 실리콘 박막에 의해 발생하는 1차 회절광에 의한 상을 촬상해서 1차 회절광상을 취득함과 함께, 기판으로부터의 정반사광 또는 투과광의 광축 근방의 산란광의 상을 촬상해서 광축 근방의 산란광상을 취득하고, 이 취득한 1차 회절광상의 화상과 광축 근방의 산란광상의 화상을 처리해서 복수의 특징을 추출하고, 이 추출한 복수의 특징 중 적어도 하나 이상의 특징을 사용하여, 사전에 설정한 평가 기준에 따라 기판 상에 형성된 다결정 실리콘 박막의 품질 평가값을 산출해서 기판 상에 형성된 다결정 실리콘 박막의 품질을 평가하도록 하였다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1020110126910
첨부파일

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