신규한 디블록공중합체, 이의 제조 방법 및 이를 사용한 나노 패턴 형성 방법
기관명 | NDSL |
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출원인 | , |
출원번호 | 10-2012-0027392 |
출원일자 | 2012-03-16 |
공개번호 | 20121102 |
공개일자 | 2015-08-20 |
등록번호 | 10-1545279-0000 |
등록일자 | 2015-08-11 |
권리구분 | KPTN |
초록 | 본 발명은 보다 미세한 나노 패턴의 형성을 용이하게 하고, 나노 패턴을 포함한 전자 소자 또는 나노 바이오 센서의 제조 등에 사용될 수 있는 디블록공중합체, 이의 제조 방법 및 이를 사용한 나노 패턴의 형성 방법에 관한 것이다. 상기 디블록공중합체는 소정의 아크릴아미드계 반복단위를 1종 이상 포함한 하드세그먼트와, (메타)아크릴레이트계 반복단위를 1종 이상 포함한 소프트세그먼트를 포함하는 것이다. |
원문URL | http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1020120027392 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
IPC분류체계CODE | C08F-297/00,C08F-220/10,C08F-220/56,C08J-005/18 |
주제어 (키워드) |