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평행하게 정렬된 나노선과 정렬된 나노선을 이용한 센서 구조의 제조방법 및 이에 의해 제조된 센서소자

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기관명	NDSL
출원인	포항공과대학교 산학협력단
출원번호	10-2008-0093534
출원일자	2008-09-24
공개번호	20100416
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명은 일정한 간격을 갖는 수십 나노 미터 굵기를 갖는 나노선을 테라스가 형성된 기판 위에 형성시켜 정렬시키는 방법을 이용하여 가스 센서 또는 바이오 센서의 제작에 필요한 원천기술을 제공한다. 나노선을 기반으로 하는 센서는 표면적 대 부피의 비가 크기 때문에 박막 기반의 센서에 비해 높은 감도를 얻을 수 있는 장점을 갖는다.그러나 일반적인 나노선 공정으로 센서를 만들 경우 분산과정 및 E-beam lithography와 같은 공정이 필요하므로 공정상에 많은 비용이 발생한다. 본 발명에 따른 테라스 기반 나노선을 이용한 센서 구조의 제조방법은 나노선과 전극 형성의 간단한 공정만으로 성능이 우수한 센서 구조를 저비용으로 제조할 수 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020080093534
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